Energetic distribution and nature of traps in SiCN amorphous films
Дата
2021
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Tkachuk A. I. Energetic distribution and nature of traps in SiCN amorphous films / Andrij Ivanovych Tkachuk, Volodymyr VolodymyrovychTetyorkin // XVIIІ International Freik Conference Physics and Technology of Thin Films and Nanosystems. Materials. / Ed. by Prof. V.V. Prokopiv. Ivano-Frankivsk: Publisher Vasyl Stefanyk Precarpathian National University, 2021. P. 75.